透射电镜(TEM)原理及应用介绍

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2020年07月30日 16:52
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透射电镜(TEM)原理及应用介绍
  人的眼睛只能分辨160度视角的物体, 相当于在明视距离下能分辨
0.1mm的目标。光学显微镜通过透镜将视角扩大,提高了分辨极限,可达 到
2000A。。光学显微镜做为材料研究和检验的常用工具,发挥了重大作用。但
是随着材料 科学的发展,人们对于显微镜分析技术的要求不断提高,观察的
对象也越来越细。如要求分表几十埃或更 小尺寸的分子或原子。一般光学显
微镜,通过扩大视角可提高的放大倍数不是无止境的。阿贝(Abbe )证明了
显微镜的分辨极限取决于光源波长的大小。在一定波长条件下,超越了这个
极限度,在 继续放大将是徒劳的,得到的像是模糊不清的


   TEM简介

   透射电子显微镜(英语:Transmission electron microscope,缩写
TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,
电子与样品中的 原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小
与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗 不同的影像。通常,透射电子
显微镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观 察超微结
构,即小于0.2微米、光学显微镜下无法看清的结构,又称亚显微结构。


  




   一、 透射电镜的工作原理及构造

   1、工作原理:


   ☞成像原理与光学显微镜类似


   ☞不同点:光学显微镜用可见光作照明束,透射电子显微镜用电子为
照明束;


   光学显微镜中聚焦成像用玻璃透镜,TEM中为磁透镜。


   ☞电子波长极短,且与物质作用遵从布拉格方程
(λ=2dsin& theta;),产生衍射现象,∴TEM具有高分辨率且有
结构分析功能。


   2、构造:


   TEM由电子光学系 统、真空系统、循环冷却系统、供电控制系统。
电子光学系统是主要部分。


   电子光学系统→电子照明系统、试样室、成像放大系统、观察与
记录系统。


   ☞电子照明系统→电子枪、会聚镜系统(为成像提供亮度高、相
干性好的照明光源)


   ☺电子枪:由阴极、栅极、阳极组成,阴极发射电子形 成高速电子流。
有的六硼化镧LaB6、场发射电子枪,其各种性能优于钨丝三级电子枪。
 < br> 
   ☺聚光镜:会聚电子束、控制照明孔径角、电流密度、光斑尺寸。高
性能电镜采 用双聚光镜,第一聚光镜为短焦距强激磁透镜,使照明束直径降
为0.2~0.75μm;第二聚 光镜为长焦距磁透镜,放大倍数一般是2倍,
∴照在式样上的束径增为0.4~1.5& mu;m左右。第二次透镜下的聚光镜
光阑用来限制和改变照明孔径角。


   ☞样品室→样品杆、样品杯、样品台。



   ☺ 样品放在直径3mm、厚50~100μm的载网上,再放入样品杯中,
最后放在样品台上。

   ☺样品台的作用为承载样品、使样品能在物镜极靴口内平移、倾斜、
旋 转以选择感兴趣的样品区域进行观察。样品台有顶插式和侧插式,顶入式
不能倾斜、平衡性好;侧入式可 倾斜、平衡性差。


   ☞成像放大系统→物镜、中间镜、投影镜。< br> 

   ☺物镜:物镜的分辨本领决定了TEM的分辨本领,∴物镜采
用强激磁、短焦距透镜减少像差、借助孔径不同的物镜光阑和消像散器和冷
阱降低球差,改变衬 度消除像散,防止污染以获得最佳分辨本领。一般放大
倍数为100~300倍,高质量分辨率可达0. 1nm。物镜后的选区光阑作用为减
小物镜的球差、像散、色差,提高图像衬度。


   ☺中间镜:操作过程中主要利用中间镜的可变倍率调节TEM放大倍
数。不会影响清晰度 。中间镜是弱激磁长焦距变倍透镜,可在0~20倍范围内
调节。(M》1,放大;M《1,缩小)


   ▶▶荧光屏得到显微放大相的条件:中间镜平面=物镜像平面< br> 

   荧光屏得到衍射斑的条件:中间镜物平面=物镜后焦平面


   ☞图像观察与记录系统→荧光屏、照相机、数据显示。


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